| 超纯水系统简介 随着大规模净化厂房的发展，超纯水系统已得到了越来越多的应用，如集成电路生产、医药工业的注射水。 下表列出了集成电路生产用水的用途及水质要求：(见下页) 纯水制取设备的主要任务是去除水中的溶解离子、有机物、微粒、细菌、溶解氧、二氧化硅等六类杂质。 超纯水系统一般包括预处理－生成－精处理－回收四个阶段，其流程应根据用水水质要求、原水水质及运行管理、经济性等因素而确定，一般流程如下： 原水箱-→水泵-→热交换器-→多介质过滤器-→碳滤器-→过滤器-→RO-1-→RO-2-→MB过滤器-→膜脱器-→纯水箱-→精混床-→UF-→用水点 |
| 2004.3.10. |
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