| 集成电路生产用水的用途及水质要求 | |||
|---|---|---|---|
| 类别 | 用途 | 水质要求 | |
| 一般生产用水 | 1、一般洗涤用水 | 符合《生活饮用水卫生标准》（GB5749-85） | |
| 2、动力设备冷却水系统的补充水 | |||
| 3、制取软化水、纯水的原水 | |||
| 软化水 | 1、工艺生产设备冷却水系统的补充水 | 硬度<0.1mmol/L | |
| 2、锅炉用补充水 | |||
| 纯水 | 初级纯水 | 1、工艺生产设备冷却水系统的补充水 | 电阻率>0.5MΩ.cm (25。) |
| 2、空调用加湿水 | |||
| 3、锅炉用补充水 | |||
| 超纯水 | 1、硅片清洗 | 电阻率>18MΩ.cm (25。)等 | |
| 2、化学剂配制 | |||
| 工艺生产设备冷却水 | 设备冷却 | 电阻率0.1~1 MΩ.cm经10μm过滤 | |
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